CrN/MoS₂固体自润滑复合膜的制备、显微组织和摩擦学性能

来源期刊：稀有金属材料与工程2013年第11期

论文作者：杨臻 张平 蔡志海 底月兰 李奇 侯玉涛

文章页码：2384 - 2388

关键词：固体自润滑;显微组织;摩擦学性能;成膜机理;磨损机制;

摘    要：采用磁控溅射与低温离子渗硫复合处理工艺原位合成了CrN/MoS2固体自润滑复合膜。采用X射线光电子能谱(XPS)、俄歇电子能谱仪(AES)和扫描电子显微镜(SEM)等分析方法对CrN基固体自润滑复合膜的显微组织进行分析。并通过CETR滑动磨损试验机,对CrMoN复合膜及CrN/MoS2自润滑复合膜的摩擦学性能进行了比较研究;通过SEM对磨痕形貌进行了观察。结果显示,CrMoN复合膜经渗硫处理后,主要合成了MoS2润滑相,渗硫层厚度约为500 nm,主要相结构为CrN与MoS2及少量MoN。与CrMoN复合膜相比,CrN/MoS2固体自润滑复合膜摩擦系数较低、磨损体积较小,具有较好的耐磨性和减摩性。同时,对CrN/MoS2固体自润滑复合膜的成膜机理及磨损机制进行了探讨。