甲烷压强对类金刚石薄膜结构与性能的影响

来源期刊：兵器材料科学与工程2014年第3期

论文作者：刘海增 代海洋 陈镇平 王春芬

文章页码：55 - 59

关键词：类金刚石膜;甲烷压强;脉冲非平衡磁控溅射技术;结构;性能;

摘    要：以氩气、氩气-甲烷为辅助气体,高纯石墨为靶材,采用脉冲非平衡磁控溅射技术制备了无定形碳膜（a—C）及氢化无定形碳膜（a—C∶H）。利用台阶仪、傅里叶红外光谱、Raman光谱、纳米压痕测试仪、椭偏仪对所制备类金刚石膜的沉积速率、结构、力学性能、折射率随甲烷气体含量的变化进行表征。结果表明:甲烷压强对类金刚石膜的结构与性能具有较大影响;类金刚石膜的沉积速率和键合氢的含量随着甲烷压强的增加而增加,但是薄膜中的sp3杂化碳的含量随着甲烷压强的增加而减小;类金刚石膜的纳米硬度和折射率均随甲烷压强的增加而减小。