导电薄膜热膨胀系数实时测试系统

王静¹，李洪来²，刘美华³，蔺金太¹

1. 解放军军事交通学院基础部2. 河北工业大学机械工程学院3. 天津商业大学机械工程学院

摘 要：开发了一种导电薄膜热膨胀系数的实时测试系统,即显微成像与数字图像相关方法相结合的测试系统。利用该系统在线实时测定了SnO2导电薄膜的热胀系数随温度变化的关系曲线,并进一步可得到膜与基体间应力的变化规律。结果表明:该系统能较准确地测出SnO2薄膜与陶瓷基体各向异性的热膨胀系数;根据试验结果及现有理论可以计算出基体与膜之间的最大应力以及基体内部的应力随温度的变化情况。

关键词：SnO2导电薄膜;显微成像;热膨胀系数;