溅射参数对(Zr，Ti)N复合镀层耐蚀性的影响
来源期刊：腐蚀与防护2008年第8期
论文作者：张炜强
文章页码：464 - 466
关键词：真空磁控溅射;(Zr，Ti)N复合镀层;工艺参数;耐蚀性;
摘 要：用真空磁控溅射技术,在Q235钢的基底上沉积（Zr,Ti）N复合镀层,改变溅射工艺参数（温度、Ar/N2流量比、基体偏压）制成8个镀层耐蚀性对比试样,用PS-268A型电化学测试仪,在3.5%的NaCl电解质溶液中腐蚀30～60 min,用极化曲线和Tafel直线外推法,确定各试样的耐蚀性的差异。结果表明,溅射工艺参数对镀层的耐蚀性影响较大。从耐蚀性方面考虑,推荐工艺参数为:溅射温度350℃,Ar/N2流量比60/30（SCCM）,基体偏压120V。
张炜强1
1. 中海油基地集团采技服湛江化学公司
摘 要：用真空磁控溅射技术,在Q235钢的基底上沉积（Zr,Ti）N复合镀层,改变溅射工艺参数（温度、Ar/N2流量比、基体偏压）制成8个镀层耐蚀性对比试样,用PS-268A型电化学测试仪,在3.5%的NaCl电解质溶液中腐蚀30～60 min,用极化曲线和Tafel直线外推法,确定各试样的耐蚀性的差异。结果表明,溅射工艺参数对镀层的耐蚀性影响较大。从耐蚀性方面考虑,推荐工艺参数为:溅射温度350℃,Ar/N2流量比60/30（SCCM）,基体偏压120V。
关键词：真空磁控溅射;(Zr，Ti)N复合镀层;工艺参数;耐蚀性;
