基于LIGA工艺的电铸镍材料特性
来源期刊：功能材料与器件学报2010年第3期
论文作者：郑利兵 石庚辰 韩立
文章页码：222 - 226
关键词：LIGA;电铸镍;材料特性;拉伸;弹性模量;
摘 要：LIGA电铸镍的材料特性与其电铸时的工艺参数有着直接的关系。利用MEMS材料拉伸机对LIGA电铸镍进行拉伸实验,获得了其应力-应变曲线,通过数据处理和分析,获得了LIGA电铸镍的弹性模量、屈服极限以及断裂极限,并和纳米压痕仪测得的数据进行了对比,两者有较好的一致性。
郑利兵1，石庚辰2，韩立1
1. 中国科学院电工研究所微纳加工技术部2. 北京理工大学机电工程与控制国家重点实验室
摘 要：LIGA电铸镍的材料特性与其电铸时的工艺参数有着直接的关系。利用MEMS材料拉伸机对LIGA电铸镍进行拉伸实验,获得了其应力-应变曲线,通过数据处理和分析,获得了LIGA电铸镍的弹性模量、屈服极限以及断裂极限,并和纳米压痕仪测得的数据进行了对比,两者有较好的一致性。
关键词：LIGA;电铸镍;材料特性;拉伸;弹性模量;
