强流脉冲离子束制备功能膜研究进展
来源期刊:材料导报2005年增刊第2期
论文作者:张罡 姚俊 杨曦 杨明海
关键词:强流脉冲离子束; 碳离子加速器; 沉积膜层;
摘 要:强流脉冲离子束在离子能量密度达到5J/cm2的条件下,辐照靶材表面形成二次烧蚀等离子体,可以在基材表面沉积与靶材化学成分一致性良好的膜层.评述了近年强流脉冲离子束沉积功能膜的研究进展,为进一步进行膜层沉积机理和工艺研究提供理论依据.
张罡1,姚俊1,杨曦2,杨明海1
(1.沈阳理工大学中俄联合高能束流实验室,沈阳,110168;
2.华中科技大学机械科学与工程学院,武汉,430074)
摘要:强流脉冲离子束在离子能量密度达到5J/cm2的条件下,辐照靶材表面形成二次烧蚀等离子体,可以在基材表面沉积与靶材化学成分一致性良好的膜层.评述了近年强流脉冲离子束沉积功能膜的研究进展,为进一步进行膜层沉积机理和工艺研究提供理论依据.
关键词:强流脉冲离子束; 碳离子加速器; 沉积膜层;
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