ATO透明导电薄膜的研究进展
来源期刊：机械工程材料2013年第10期
论文作者：赵祯 张健民 吴姣 席运泽 杨东麟 苏玉长
文章页码：5 - 29
关键词：ATO薄膜;制备方法;光学性能;
摘 要：概述了国内外掺锑氧化锡(ATO)透明导电薄膜制备技术的研究现状,包括溶胶凝胶法、射频磁控溅射法、喷雾热解法、化学气相沉积法等,对比分析了各种制备方法的优缺点和及其所制备薄膜的性能;介绍了薄膜厚度、锑掺杂浓度、退火工艺参数等对薄膜光学性能的影响,提出了开发具有良好光学性能ATO薄膜需要解决的问题。最后对ATO薄膜今后的发展方向进行了展望。
赵祯，张健民，吴姣，席运泽，杨东麟，苏玉长
中南大学材料科学与工程学院
摘 要：概述了国内外掺锑氧化锡(ATO)透明导电薄膜制备技术的研究现状,包括溶胶凝胶法、射频磁控溅射法、喷雾热解法、化学气相沉积法等,对比分析了各种制备方法的优缺点和及其所制备薄膜的性能;介绍了薄膜厚度、锑掺杂浓度、退火工艺参数等对薄膜光学性能的影响,提出了开发具有良好光学性能ATO薄膜需要解决的问题。最后对ATO薄膜今后的发展方向进行了展望。
关键词：ATO薄膜;制备方法;光学性能;
