低温化学气相沉积氮化钛
来源期刊：工程科学学报1983年第1期
论文作者：王曾隽 马肇曾 葛葆云 文耀典
文章页码：176 - 181
摘 要：用纯氨做原料在钢铁表面进行化学气相沉积氮化钛时,可使沉积温度降到570℃以下。高速钢刀具经沉积后不需再行淬火处理。本文介绍了沉积反应时纯氨的制备以及为降低沉积温度的沉积条件选择等。样品经此处理后,涂层生长速率为2.7μ2.5（μm）/hr,涂展硬度HV0,05,约为1700kg/mm2。X射线衍射分析证明表面为TiN。
王曾隽，马肇曾，葛葆云，文耀典
摘 要：用纯氨做原料在钢铁表面进行化学气相沉积氮化钛时,可使沉积温度降到570℃以下。高速钢刀具经沉积后不需再行淬火处理。本文介绍了沉积反应时纯氨的制备以及为降低沉积温度的沉积条件选择等。样品经此处理后,涂层生长速率为2.7μ2.5（μm）/hr,涂展硬度HV0,05,约为1700kg/mm2。X射线衍射分析证明表面为TiN。
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