简介概要

硅基锆钛酸铅铁电薄膜异质结构的研究进展

来源期刊：绝缘材料2006年第1期

论文作者：杨艳张洪伟校峰

关键词：铁电薄膜; 异质结构; 锆钛酸铅; 氧化物电极;

摘要：介绍了锆钛酸铅铁电薄膜异质结构的研究进展,举例说明了锆钛酸铅薄膜异质结构的特性,并进行了分析比较.氧化物电极结构将替代现有的金属电极结构,从而有效解决铁电性能的退化问题,是未来铁电薄膜异质结构的发展方向.

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杨艳¹，张洪伟¹，校峰²

(1.电子科技大学电子薄膜与集成器件重点实验室,四川,成都,610054;
2.西北工业大学理学院应用化学系,陕西,西安,710072)

摘要:介绍了锆钛酸铅铁电薄膜异质结构的研究进展,举例说明了锆钛酸铅薄膜异质结构的特性,并进行了分析比较.氧化物电极结构将替代现有的金属电极结构,从而有效解决铁电性能的退化问题,是未来铁电薄膜异质结构的发展方向.

关键词:铁电薄膜; 异质结构; 锆钛酸铅; 氧化物电极;

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