改性金刚石膜的形貌、结构和附着性能

罗承萍¹，黄彩娥²，邱万奇¹，黄元盛²

(1.华南理工大学,机械工程学院,广东,广州,510640;
2.韶关学院,机电系,广东,韶关,512005)

摘要:为了提高金刚石膜/基附着力,通过氧辅助使高温钨丝蒸发,在基底表面与碳氢基团反应生成纳米碳化钨,从而得到金刚石和纳米碳化钨混合的改性金刚石膜.用扫描电子显微镜、X射线衍射仪和压痕法研究了改性金刚石膜的形貌、结构和附着力性能.结果表明,碳钨化合物以纳米相存在于改性金刚石膜中.碳钨化合物的存在使改性金刚石膜的硬度下降,但是适当的碳钨化合物能使膜/基附着力性能得到较大提高.当氧气通入量为1.2sccm时,膜/基附着力性能最好.

关键词:改性金剐石膜; 化学气相沉积; 碳钨化合物; 附着力性能; 氧气;

【全文内容正在添加中】