TiAlN/Ti多元复合涂层的界面结构
来源期刊：材料科学与工艺2000年第2期
论文作者：夏立芳 白羽 雷廷权 熊仁章
关键词：多弧离子镀; TiAlN多元复合涂层; 界面结构;
摘 要：利用多弧离子镀方法,在HSS钢基体上沉积了TiA lN/Ti多元复合涂层,通过AES、XTEM以及EDS等手段,研究了涂层的界面结构.结果表明,在 TiAlN-Ti界面、Ti-HSS界面分别存在Ti2AlN和FeTi界面相,Ti2AlN是在涂镀过程中直接沉积而来,而FeTi界面相则是通过扩散作用生成的,它的基体中的M有一定的位相关系.
夏立芳1，白羽1，雷廷权1，熊仁章2
(1.哈尔滨工业大学,黑龙江,哈尔滨,150001;
2.五二研究所宁波分所,浙江,宁波,315040)
摘要:利用多弧离子镀方法,在HSS钢基体上沉积了TiA lN/Ti多元复合涂层,通过AES、XTEM以及EDS等手段,研究了涂层的界面结构.结果表明,在 TiAlN-Ti界面、Ti-HSS界面分别存在Ti2AlN和FeTi界面相,Ti2AlN是在涂镀过程中直接沉积而来,而FeTi界面相则是通过扩散作用生成的,它的基体中的M有一定的位相关系.
关键词:多弧离子镀; TiAlN多元复合涂层; 界面结构;
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