热敏材料掺磷非晶硅的退火行为
来源期刊：功能材料与器件学报2007年第6期
论文作者：马铁英 刘文平 李铁 王跃林 周萍
关键词：非晶硅; 退火; 红外; 电阻温度系数;
摘 要：本文对PECVD制备的红外热敏材料掺磷非晶硅薄膜的两个关键热电参数-红外吸收系数和电阻温度系数-采用红外透射谱、拉曼谱和电阻率测量进行了深入的研究.实验结果表明,对样品进行退火30 min后,薄膜结构可以达到稳定;随着退火温度的增加,样品的红外透射率下降;当退火温度达到700℃时,薄膜完全晶化;与此同时,电阻率和电阻温度系数随掺杂浓度和退火温度的增加而减小.根据Lu的模型,对这些现象进行了解释并给出了制备和退火的优化条件.
马铁英1，刘文平1，李铁1，王跃林1，周萍1
(1.中国科学院微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,微系统技术国家实验室,上海,200050;
2.中国科学院研究生院,北京,100039)
摘要:本文对PECVD制备的红外热敏材料掺磷非晶硅薄膜的两个关键热电参数-红外吸收系数和电阻温度系数-采用红外透射谱、拉曼谱和电阻率测量进行了深入的研究.实验结果表明,对样品进行退火30 min后,薄膜结构可以达到稳定;随着退火温度的增加,样品的红外透射率下降;当退火温度达到700℃时,薄膜完全晶化;与此同时,电阻率和电阻温度系数随掺杂浓度和退火温度的增加而减小.根据Lu的模型,对这些现象进行了解释并给出了制备和退火的优化条件.
关键词:非晶硅; 退火; 红外; 电阻温度系数;
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