硬质合金表面化学脱钴对金刚石涂层的影响

来源期刊：硬质合金2013年第3期

论文作者：邓福铭 王强 邹波 张丹 陆绍悌 赵晓凯

文章页码：113 - 121

关键词：化学气相沉积(CVD);金刚石涂层;硬质合金;表面预处理;附着性能;

摘    要：以CH3COCH3和H2为反应气源,采用热丝CVD法在经过一步法和碱酸两步法预处理的YG6硬质合金（WC-6%Co）基体上沉积了金刚石涂层。采用扫描电镜、能谱仪、硬度计等对样品进行了分析检测,着重考察了一步法和两步法化学腐蚀脱钴预处理工艺对硬质合金基体表面形貌、钴含量以及其对所得金刚石涂层的形核密度、晶粒尺寸、膜基附着性能等的影响。实验结果表明:无论是一步法还是两步法脱钴预处理工艺,都能去除YG6硬质合金基体表面的钴元素,一步法最佳腐蚀时间为15 min,两步法最佳腐蚀时间为5 min,两步法效果强于一步法。在经两步法5 min酸蚀脱钴预处理的YG6基体上,获得了膜基粘着性能良好、结晶性能好的微米金刚石涂层。