Ti-Si-N结构及热力学性质的第一性原理研究

来源期刊：材料导报2012年第24期

论文作者：谭心 李瑜庆 刘学杰 贾亦超

文章页码：120 - 124

关键词：第一性原理;Ti-Si-N;热力学性质;

摘    要：采用基于密度泛函理论的平面波赝势方法,研究了具有置换型界面的Ti-Si-N的结构、弹性常数及热力学性质。在计算热力学性质时,先计算一组不同晶格常数下的Ti-Si-N的声子谱及相应的静态总能,由此得到不同晶格常数下的自由能;再由准谐近似及自由能极小判据得到自由能与温度的关系,进而计算热膨胀系数、定容摩尔热容及定压摩尔热容与温度的关系。计算结果说明制备Ti-Si-N及类似薄膜时,要选择合适的基底、温度等条件。