用薄膜内耗仪测定薄膜应力
来源期刊：金属学报2003年第11期
论文作者：李健
关键词：内耗; 形状记忆效应; 薄膜应力;
摘 要：采用一种新的薄膜内耗仪观测Ni50Ti50薄膜样品的形变(薄膜形变造成薄膜与载膜硅片之间的界面应力)随温度或其它环境参量的变化.同步测量了薄膜的内耗、动态模量、薄膜应力以及Ni50Ti50薄膜的相变过程.
李健1
(1.上海宝山钢铁股份公司分析技术中心,上海,201900)
摘要:采用一种新的薄膜内耗仪观测Ni50Ti50薄膜样品的形变(薄膜形变造成薄膜与载膜硅片之间的界面应力)随温度或其它环境参量的变化.同步测量了薄膜的内耗、动态模量、薄膜应力以及Ni50Ti50薄膜的相变过程.
关键词:内耗; 形状记忆效应; 薄膜应力;
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