溶胶-凝胶法制备功能薄膜材料的研究及展望
来源期刊：稀有金属材料与工程2004年增刊第1期
论文作者：缪亚美 丁新更 杨辉
关键词：溶胶-凝胶法; 功能薄膜; 综述;
摘 要：材料功能的多元化以及各种元器件的微型化、集成化,导致薄膜的应用领域也就越来越广泛,对薄膜的制备技术的要求就越来越高.本文综述了近来溶胶-凝胶法在光学、电学、耐磨、耐蚀等功能薄膜制备中的研究及展望.
缪亚美1，丁新更1，杨辉1
(1.浙江大学,浙江,杭州,310027)
摘要:材料功能的多元化以及各种元器件的微型化、集成化,导致薄膜的应用领域也就越来越广泛,对薄膜的制备技术的要求就越来越高.本文综述了近来溶胶-凝胶法在光学、电学、耐磨、耐蚀等功能薄膜制备中的研究及展望.
关键词:溶胶-凝胶法; 功能薄膜; 综述;
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