硼掺杂对金刚石薄膜生长特性的影响
来源期刊：无机材料学报2005年第5期
论文作者：廖源 方容川 刘卫平 田宇全 王冠中 余庆选
关键词：孪晶; HFCVD; 硼掺杂; 金刚石薄膜;
摘 要：采用HFCVD方法制备了掺硼金刚石薄膜,通过扫描电子显微镜和X射线衍射光谱对样品的表面形貌及结构进行了分析.结果表明,随着硼含量的增加,薄膜中晶粒的取向由(100)变为(111),然后趋向于无序化.硼的掺入同样影响到孪晶晶粒的形态及生长因子α,使得α变小.通过对样品的Raman光谱分析,得出在适当的硼掺杂浓度下,孪晶的出现使金刚石薄膜中的应力得到松弛,从而中心声子线Raman位移红移较小.
廖源1，方容川1，刘卫平2，田宇全1，王冠中2，余庆选2
(1.中国科学技术大学物理系,合肥,230026;
2.中国科学技术大学结构分析中心)
摘要:采用HFCVD方法制备了掺硼金刚石薄膜,通过扫描电子显微镜和X射线衍射光谱对样品的表面形貌及结构进行了分析.结果表明,随着硼含量的增加,薄膜中晶粒的取向由(100)变为(111),然后趋向于无序化.硼的掺入同样影响到孪晶晶粒的形态及生长因子α,使得α变小.通过对样品的Raman光谱分析,得出在适当的硼掺杂浓度下,孪晶的出现使金刚石薄膜中的应力得到松弛,从而中心声子线Raman位移红移较小.
关键词:孪晶; HFCVD; 硼掺杂; 金刚石薄膜;
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