多晶硅生产中废气的分类回收利用
来源期刊：中国有色冶金2020年第1期
论文作者：石何武 张升学 姜利霞 郑红梅
文章页码：73 - 76
关键词：多晶硅;废气;分类回收;循环利用;
摘 要：多晶硅生产需要通过排放尾气或者残液的形式排出影响产品纯度的杂质成分,来最终产品的品质,排放的废气大致可以分为:以氮气为主的废气、以氢气为主的废气、含有氯硅烷的废气和含有氢氟酸等酸性气体的废气。本文分别对目前这几类废气的处理措施和利用技术进行了介绍,以期为相关企业提供参考,实现多晶硅生产排放废气的分类回收利用。
石何武，张升学，姜利霞，郑红梅
中国恩菲工程技术有限公司
摘 要：多晶硅生产需要通过排放尾气或者残液的形式排出影响产品纯度的杂质成分,来最终产品的品质,排放的废气大致可以分为:以氮气为主的废气、以氢气为主的废气、含有氯硅烷的废气和含有氢氟酸等酸性气体的废气。本文分别对目前这几类废气的处理措施和利用技术进行了介绍,以期为相关企业提供参考,实现多晶硅生产排放废气的分类回收利用。
关键词：多晶硅;废气;分类回收;循环利用;
