高密度氧化铟锡(ITO)靶材制备工艺的研究进展
来源期刊：材料导报2013年第S1期
论文作者：王松 谢明 王塞北 杨云峰 付作鑫
文章页码：207 - 430
关键词：氧化铟锡靶材;高密度;制备;
摘 要：ITO靶材是导电玻璃、LED、太阳能电池等行业的核心材料之一。综合评述了高密度ITO靶材的研究现状。介绍了ITO粉末的制备方法如机械混合法、喷雾热分解法、喷雾燃烧法、化学共沉淀法、金属醇盐水解法、水热合成法等以及ITO靶材的制备工艺。比较和分析了ITO粉体和靶材各制备工艺的优缺点。最后提出了制备高品质ITO靶材的研究方向。
王松，谢明，王塞北，杨云峰，付作鑫
昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室
摘 要：ITO靶材是导电玻璃、LED、太阳能电池等行业的核心材料之一。综合评述了高密度ITO靶材的研究现状。介绍了ITO粉末的制备方法如机械混合法、喷雾热分解法、喷雾燃烧法、化学共沉淀法、金属醇盐水解法、水热合成法等以及ITO靶材的制备工艺。比较和分析了ITO粉体和靶材各制备工艺的优缺点。最后提出了制备高品质ITO靶材的研究方向。
关键词：氧化铟锡靶材;高密度;制备;
