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陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池工艺

来源期刊：稀有金属材料与工程2005年增刊第2期

论文作者：张立明许颖王文静张厚兴黄勇李海峰万之坚

关键词：陶瓷衬底; 多晶硅; 薄膜电池;

摘要：为了大幅度降低成本,真正实现太阳能电池的大规模应用,设计出一种新颖的薄膜电池,即在廉价的陶瓷衬底上沉积多晶硅薄膜制作的太阳电池.介绍了制作这一电池的完整工艺流程,摸索出合适的工艺参数,解决了在异质衬底上生长大晶粒多晶硅薄膜和表面电极引出的问题,实验取得了令人满意的结果.

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张立明¹，许颖²，王文静²，张厚兴¹，黄勇¹，李海峰³，万之坚¹

(1.清华大学,北京,100084;
2.北京市太阳能研究所,北京,100083;
3.清华大学深圳研究生院,深圳,518057)

摘要:为了大幅度降低成本,真正实现太阳能电池的大规模应用,设计出一种新颖的薄膜电池,即在廉价的陶瓷衬底上沉积多晶硅薄膜制作的太阳电池.介绍了制作这一电池的完整工艺流程,摸索出合适的工艺参数,解决了在异质衬底上生长大晶粒多晶硅薄膜和表面电极引出的问题,实验取得了令人满意的结果.

关键词:陶瓷衬底; 多晶硅; 薄膜电池;

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