锌还原法制备多晶硅过程影响硅产率的因素分析

来源期刊：工程科学学报2011年第12期

论文作者：侯彦青 谢刚 陶东平 俞小花 李荣兴 姚云

文章页码：1516 - 1522

关键词：多晶硅;锌;还原;产率;热力学;相平衡;

摘    要：对锌还原法过程中影响硅产率的因素进行研究.分析了当反应达到平衡,在0.1、0.3和0.6 MPa以及进料配比xZn/xSiCl4为2、4和8时,气相平衡组分分布与温度的关系.讨论了硅产率随温度、压强及xZn/xSiCl4的变化情况.结果表明,低温、一定压力和高xZn/xSiCl4对锌还原过程有利.确定了影响硅产率的主要副反应.最后得到锌还原法的最佳操作条件为温度控制在1 200 K左右、0.2 MPa及进料配比xZn/xSiCl4=4,在此条件下硅的理论产率可为90.3%.