硅业副产物SiCl₄资源化电沉积硅及其性能研究

刘静静¹，赵占霞¹，张承龙²，马忠权¹

1. 上海大学理学院物理系2. 上海电子废弃物资源化协同创新中心上海第二工业大学电子废弃物研究中心

摘 要：以硅业副产物四氯化硅（SiCl₄）为溶解物,离子液体[BMIM]TF2N为溶剂,碳酸丙烯酯（PC）为支持电解质,采用三电极系统,用C-AFM方法研究[BMIM]TF2N与PC的质量比、电解液温度和沉积时间对阴极板生成物电学性质的影响,以及硅薄膜结构和表面形貌对其电学性质的影响。拉曼光谱结果证实沉积的硅薄膜是非晶态结构,在质量比为1:3的常温电解液中沉积1h制备出的硅薄膜具有很好的均匀性和电学性质。

关键词：离子液体;四氯化硅;C-AFM;硅薄膜;电学性质;