一种提高薄膜厚度测量灵敏度的方法

胡秀丽¹，游佰强¹，于海涛²

1. 厦门大学信息科学与技术学院2. 中国船舶重工集团公司第七二五研究所厦门分部

摘 要：针对薄膜材料厚度无损测试技术,提出一种三电极平行板电容传感器薄膜测厚方法。具体采用了三电极平行板电容器结构,该电容传感器含有三个相同的几何尺寸是毫米级的平板电极探头,电极之间的间距可变。依据电容原理和保角变换方法建立理论模型。通过Fortran语言编写算法,将得出的计算结果与传统方法进行比较。结果表明用此方法检测薄膜厚度变化,不仅继承了传统电容测厚技术具有的结构简单,操作快捷,便于控制,低功耗,低成本等优点,还大大提高了薄膜厚度检测的灵敏度。

关键词：无损检测;三电极电容模型;保角变换;灵敏度;