KDP晶体表面质量主要影响因素的研究

来源期刊：机械设计与制造2017年第1期

论文作者：关佳亮 陈玲 刘益嘉 朱生根

文章页码：145 - 148

关键词：KDP晶体;二次通用回归旋转组合;单点金刚石飞刀切削;工艺参数;表面质量;

摘    要：针对KDP晶体超精密加工过程中出现的表面波纹度和粗糙度问题,采用二次通用回归旋转组合优化设计法及单点金刚石飞刀切削(SPDT)技术,对KDP晶体进行切削实验,对加工过程进行在线监测,利用多因素交互作用分析KDP晶体表面波纹度和粗糙度的影响规律。最后利用偏最小二乘法及lingo软件获得最佳加工工艺参数组合,即当刀具圆弧半径为9mm;转速为800 r/min;进给量为9.184μm/r;背吃刀量为21μm时,加工出KDP晶体的表面波纹度值为0.020μm,表面粗糙度值为0.017μm,对后续能够加工出更大口径(400×400)mm的高质量KDP晶体以满足航空航天领域应用具有重要的实际意义。