钛掺杂无氢类金刚石薄膜疏水性能研究

张林^1,2，林国强¹，马国佳^1,2，魏科科¹，段仲伟¹

1. 大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室2. 北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室

摘 要：采用MEVVA离子源复合磁控溅射沉积系统,在钛合金Ti6Al4V基体上制备Ti掺杂DLC薄膜,研究Ti掺杂对DLC薄膜疏水性能的影响。通过X射线能谱仪（EDS）、X射线光电子谱（XPS）、原子力显微镜（AFM）分别对薄膜的组分、化学键以及表面形貌进行分析;通过测量静态接触角分析薄膜的润湿性并计算薄膜的表面能。结果表明:Ti掺杂DLC膜明显提高疏水性能,水接触角最高达到105°。薄膜中sp2C杂化键组分增加以及表面形成Ti-O键,是导致薄膜表面能降低的重要因素。

关键词：类金刚石膜;掺杂;接触角;表面能;