超精密加工机床的关键部件技术
来源期刊:机械设计与制造1999年第5期
论文作者:盖玉先 董申
文章页码:63 - 64
关键词:超精密机床;关键部件;
摘 要:论述了亚微米级超精密加工机床的主轴、直线导轨、进给与微量进给、隔振与恒温等关键部件的设计原理、实施方案及其在HCM-I超精密加工机床中的应用
盖玉先,董申
哈尔滨工业大学精密工程研究所!哈尔滨150001
摘 要:论述了亚微米级超精密加工机床的主轴、直线导轨、进给与微量进给、隔振与恒温等关键部件的设计原理、实施方案及其在HCM-I超精密加工机床中的应用
关键词:超精密机床;关键部件;