真空液相重结晶法改善InSb薄膜的组织和性能

来源期刊：工程科学学报1997年第6期

论文作者：王元玮 田跃 汪亮明 和文国

文章页码：585 - 1176

关键词：真空重结晶;薄膜制备;InSb薄膜;

摘    要：利用真空下氩气保护液相重结晶的方法，对热蒸镀和磁控贱射制得的Insb薄膜进行热处理．X射线衍射和组织分析的结果表明：热处理前薄膜为Insb，In，Sb各相的混合物；重结晶后，基本为InSb单相，InSb晶粒呈规则状外形长大．热处理后室温下的电子迁移率大大提高，由原来的1．31×104cm2／（V·s）提高到4．47×104cm2／（V·s）（热蒸镀）和2．15×103cm2／（V·s）提高到2．04×104cm2／（V·s）（磁控溅射）．