旋转超声波钻削用气浮工作台的设计与实验

刘礼平^1,2，林彬²，房丰洲^1,3

1. 天津大学微纳制造中心2. 天津大学先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室3. 天津大学精密测量技术与仪器国家重点实验室

摘 要：旋转超声波加工是一种精密、有效的硬脆材料加工方法,为了获得最佳加工质量,旋转超声波钻削加工中,恒定、灵敏地控制工件与工具之间的静载荷至关重要。设计了一种新型的气浮工作台,用于恒定、灵敏地控制旋转超声波加工中的力。并且对比恒速和恒力两种进给方式下,旋转超声波钻削加工高纯氧化铝的加工孔出入口形貌、刀具形貌以及刀具磨损率。研究表明,采用气浮工作台的恒力进给方式可以延长刀具寿命,减小刀具磨损状况下的工件损伤。

关键词：工程陶瓷;气浮工作台;恒速加工;恒力加工;