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晶界相和晶界对AlN陶瓷热导率的影响

来源期刊:材料科学与工程学报2002年第2期

论文作者:刘慧卿 马庆智 黄小丽 李发 郑永红

关键词:AlN; 热导率; 晶界相; 晶界;

摘    要:本文研究了掺杂CaO-Y2O3热压烧结和常压烧结AlN陶瓷的晶界相及其产生过程和除氧机制;分析了两种烧结工艺烧制的AlN陶瓷的晶界成份;测定了不同晶界相含量和晶界成份对应的AlN陶瓷的热导率.

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晶界相和晶界对AlN陶瓷热导率的影响

刘慧卿1,马庆智2,黄小丽2,李发1,郑永红2

(1.北京真空电子技术研究所,北京,100016;
2.北京信息工程学院,北京,100101)

摘要:本文研究了掺杂CaO-Y2O3热压烧结和常压烧结AlN陶瓷的晶界相及其产生过程和除氧机制;分析了两种烧结工艺烧制的AlN陶瓷的晶界成份;测定了不同晶界相含量和晶界成份对应的AlN陶瓷的热导率.

关键词:AlN; 热导率; 晶界相; 晶界;

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