AZ31镁合金表面磁控溅射SiNx薄膜的性能研究
来源期刊：材料导报2008年增刊第3期
论文作者：黄佳木 罗先盛
关键词：SiNx薄膜; 磁控溅射; 镁合金; 腐蚀;
摘 要：采用磁控溅射法在AZ31镁合金表面沉积了SiNx薄膜.用场发射扫描电镜、X射线衍射、X光电子能谱等研究分析了薄膜的晶体结构、表面形貌和化学成分.实验结果表明,所制备的SiNx薄膜为非晶态的富N膜;SiNx薄膜可显著降低AZ31在3.5%的NaCl溶液中的腐蚀电流密度,膜厚为1.5靘时,在阳极极化区出现钝化现象.
黄佳木1，罗先盛2
(1.重庆大学国家镁合金材料工程技术研究中心,重庆,400044;
2.重庆大学材料科学与工程学院,重庆,400045)
摘要:采用磁控溅射法在AZ31镁合金表面沉积了SiNx薄膜.用场发射扫描电镜、X射线衍射、X光电子能谱等研究分析了薄膜的晶体结构、表面形貌和化学成分.实验结果表明,所制备的SiNx薄膜为非晶态的富N膜;SiNx薄膜可显著降低AZ31在3.5%的NaCl溶液中的腐蚀电流密度,膜厚为1.5靘时,在阳极极化区出现钝化现象.
关键词:SiNx薄膜; 磁控溅射; 镁合金; 腐蚀;
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