简介概要

多晶硅生产的残液高效回收技术

来源期刊：有色冶金节能2015年第3期

论文作者：曾晓国郑红梅刘德杰万烨严大洲张升学

文章页码：52 - 54

关键词：多晶硅;残液;四氯化硅;回收技术;

摘要：改良西门子法生产多晶硅的过程中会产生大量富含杂质的四氯化硅残液。国内大部分企业缺少有效的四氯化硅残液处置办法,严重制约多晶硅产能的释放以及成本的降低。本文针对这一问题,研发出了一种高效的四氯化硅残液回收工艺,并研究了压力、温度及四氯化硅蒸气净化除尘对残液回收工艺的影响。

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曾晓国^1,2，郑红梅¹，刘德杰³，万烨^1,2，严大洲^1,2，张升学^1,2

1. 中国恩菲工程技术有限公司2. 洛阳中硅高科技有限公司3. 河南省固体废物管理中心

关键词：多晶硅;残液;四氯化硅;回收技术;