射频磁控溅射TiO2/HA复合生物膜的制备与表征
来源期刊：复合材料学报2003年第6期
论文作者：陈民芳 王玉红 杨贤金 刘技文 由臣
关键词：射频磁控溅射; TiO2/HA复合薄膜; 非晶钙磷化合物; 晶化; 水蒸气处理;
摘 要：将水热合成的羟基磷灰石(HA)粉与20wt%Ti粉混合,冷压烧结成靶材.采用射频磁控溅射方法,在工业纯钛基体上沉积TiO2/HA生物薄膜,通过扫描电镜(SEM)及其能谱(EDS)、X射线衍射(XRD)和差热分析仪(TDA)对膜层进行了表征,探讨了溅射膜的晶化工艺.结果表明:由于选择溅射和OH-损失,溅射膜由TiO2晶体颗粒和非晶钙磷化合物组成,且其Ca/P比降低.经700℃,0.5 h水蒸气处理,非晶钙磷化合物结晶度大大提高,并部分转化为HA晶体,且处理后的溅射膜与基体间无裂纹.
陈民芳1，王玉红2，杨贤金1，刘技文2，由臣2
(1.天津大学,材料学院,天津,300072;
2.天津理工学院,材料系,天津,300191)
摘要:将水热合成的羟基磷灰石(HA)粉与20wt%Ti粉混合,冷压烧结成靶材.采用射频磁控溅射方法,在工业纯钛基体上沉积TiO2/HA生物薄膜,通过扫描电镜(SEM)及其能谱(EDS)、X射线衍射(XRD)和差热分析仪(TDA)对膜层进行了表征,探讨了溅射膜的晶化工艺.结果表明:由于选择溅射和OH-损失,溅射膜由TiO2晶体颗粒和非晶钙磷化合物组成,且其Ca/P比降低.经700℃,0.5 h水蒸气处理,非晶钙磷化合物结晶度大大提高,并部分转化为HA晶体,且处理后的溅射膜与基体间无裂纹.
关键词:射频磁控溅射; TiO2/HA复合薄膜; 非晶钙磷化合物; 晶化; 水蒸气处理;
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