电感耦合等离子体质谱法测定高纯氮化硅粉体中痕量元素

来源期刊：理化检验-化学分册2012年第10期

论文作者：徐鸿志 陈志伟 刘东武 魏晓兵 王英

文章页码：1134 - 1136

关键词：电感耦合等离子体质谱法;高纯氮化硅粉;痕量元素;

摘    要：高纯氮化硅粉体样品用氢氟酸、硝酸进行微波消解处理,采用电感耦合等离子体质谱法测定所得样品溶液中18种痕量元素的含量。选用合适的同位素和干扰校正方程消除了被测元素的干扰。方法的检出限（3s）在5.2～20.8pg.g-1之间。方法用于高纯氮化硅粉体样品中痕量元素的测定,加标回收率在89.2%～105.2%之间,相对标准偏差（n=6）小于10%。