Ti/IrO_2-Ta_2O_5氧化物阳极涂层厚度的X射线荧光法测定
来源期刊：材料保护2010年第2期
论文作者：许立坤 张惠 王均涛 辛永磊 侯文涛
关键词：X射线荧光; IrO_2; Ta_2O_5; 氧化物阳极; 厚度测量; X-ray fluorescence; IrO_2; Ta_2O_5; oxide anode; determination of thickness;
摘 要：常规的光学显微镜和扫描电镜(SEM)检测为破坏性检测,且测量时间长,不便于现场应用于涂层厚度的测量.为此,制备了X射线荧光法(XRF)测量Ti/IrO_2-Ta_2O_5涂层厚度所需的校正标样,采用XRF测量了涂层的厚度,并与SEM测量的涂层厚度进行比较.结果表明:标样的涂层厚度和组分分布均匀;XRF测试中发射法比吸收法的灵敏度高,偏差小;XRF的测量结果与SEM的相近,偏差小,可靠度高.
许立坤1，张惠2，王均涛1，辛永磊1，侯文涛2
(1.中国船舶重工集团公司第七二五研究所,海洋腐蚀与防护国防科技重点实验室,山东,青岛,266071;
2.山东大学化学与化工学院,山东,济南,250100)
摘要:常规的光学显微镜和扫描电镜(SEM)检测为破坏性检测,且测量时间长,不便于现场应用于涂层厚度的测量.为此,制备了X射线荧光法(XRF)测量Ti/IrO_2-Ta_2O_5涂层厚度所需的校正标样,采用XRF测量了涂层的厚度,并与SEM测量的涂层厚度进行比较.结果表明:标样的涂层厚度和组分分布均匀;XRF测试中发射法比吸收法的灵敏度高,偏差小;XRF的测量结果与SEM的相近,偏差小,可靠度高.
关键词:X射线荧光; IrO_2; Ta_2O_5; 氧化物阳极; 厚度测量; X-ray fluorescence; IrO_2; Ta_2O_5; oxide anode; determination of thickness;
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