中折射率镀膜材料铝酸镧的制备及性能研究
来源期刊：金属功能材料2015年第1期
论文作者：彭程 孙静 石志霞 张碧田 王星明 段华英
文章页码：38 - 43
关键词：光学镀膜材料;固相法;铝酸镧;EB-PVC;折射率;
摘 要：采用固相合成法制备了铝酸镧光学镀膜材料,其物相组成为LaAlO3与LaAl11O18。通过改变电子束物理气相沉积（EB-PVC）法淀积铝酸镧薄膜时的工艺条件,得出了薄膜的折射率及消光系数随淀积工艺的变化情况。在可见光范围内,膜层的折射率随工艺的不同在1.651.8之间变化,消光系数在10-4数量级;光学性能优异,具有很好的应用前景。
彭程，孙静，石志霞，张碧田，王星明，段华英
北京有色金属研究总院稀有金属冶金材料研究所
摘 要：采用固相合成法制备了铝酸镧光学镀膜材料,其物相组成为LaAlO3与LaAl11O18。通过改变电子束物理气相沉积（EB-PVC）法淀积铝酸镧薄膜时的工艺条件,得出了薄膜的折射率及消光系数随淀积工艺的变化情况。在可见光范围内,膜层的折射率随工艺的不同在1.651.8之间变化,消光系数在10-4数量级;光学性能优异,具有很好的应用前景。
关键词：光学镀膜材料;固相法;铝酸镧;EB-PVC;折射率;
