金刚石刻蚀技术研究
来源期刊：材料导报2006年第1期
论文作者：王万录 张勇 方亮 冯明海 侯爱国 刘高斌
关键词：金刚石; 微细加工; 刻蚀; 等离子体;
摘 要：金刚石因其卓越的物理和化学性能一直蕴涵着巨大的应用潜力,但其极高的硬度和优异的化学稳定性使其难以被加工成型,因此,在作为新型电子功能材料走向实际应用过程中,金刚石的微细加工技术非常关键.对近年来国内外采用等离子体刻蚀技术加工金刚石的基本工艺特点和最新进展进行了较系统的比较和总结,重点分析了功率、气体种类、气体流量、偏压、掺杂类型、离子注入、掩膜等因素对刻蚀过程的影响,以期为工艺参数的进一步优化提供参考.
王万录1，张勇1，方亮1，冯明海1，侯爱国1，刘高斌1
(1.重庆大学应用物理系,重庆,400044)
摘要:金刚石因其卓越的物理和化学性能一直蕴涵着巨大的应用潜力,但其极高的硬度和优异的化学稳定性使其难以被加工成型,因此,在作为新型电子功能材料走向实际应用过程中,金刚石的微细加工技术非常关键.对近年来国内外采用等离子体刻蚀技术加工金刚石的基本工艺特点和最新进展进行了较系统的比较和总结,重点分析了功率、气体种类、气体流量、偏压、掺杂类型、离子注入、掩膜等因素对刻蚀过程的影响,以期为工艺参数的进一步优化提供参考.
关键词:金刚石; 微细加工; 刻蚀; 等离子体;
【全文内容正在添加中】
