ZnO缓冲层对W掺杂VO2薄膜光电性能的影响
来源期刊：稀有金属与硬质合金2014年第5期
论文作者：周矗 李合琴 刘心同 徐昱昊 叶楠 钱满满 成聪
文章页码：39 - 42
关键词：ZnO/W-VO2双层薄膜;W-VO2单层薄膜;相变温度;电阻-温度曲线;可见光透过率;红外光透过率;
摘 要：用磁控溅射法在载玻片基底上分别制备W-VO2单层薄膜与ZnO/W-VO2双层薄膜,并在Ar气氛中进行退火。用X射线衍射仪、LCR测试仪、扫描电镜、紫外-可见分光光度计和红外光谱仪对薄膜样品的晶体结构、电阻-温度特性、表面形貌、可见光透过率和红外光透过率进行测试。结果表明:ZnO/W-VO2双层薄膜的相变温度降低至35℃,薄膜生长更加致密均匀,可见光透过率提高约23%,对红外光的屏蔽效果更优。
周矗，李合琴，刘心同，徐昱昊，叶楠，钱满满，成聪
合肥工业大学材料科学与工程学院
摘 要：用磁控溅射法在载玻片基底上分别制备W-VO2单层薄膜与ZnO/W-VO2双层薄膜,并在Ar气氛中进行退火。用X射线衍射仪、LCR测试仪、扫描电镜、紫外-可见分光光度计和红外光谱仪对薄膜样品的晶体结构、电阻-温度特性、表面形貌、可见光透过率和红外光透过率进行测试。结果表明:ZnO/W-VO2双层薄膜的相变温度降低至35℃,薄膜生长更加致密均匀,可见光透过率提高约23%,对红外光的屏蔽效果更优。
关键词：ZnO/W-VO2双层薄膜;W-VO2单层薄膜;相变温度;电阻-温度曲线;可见光透过率;红外光透过率;
