多晶硅薄膜太阳能电池硅基复合陶瓷衬底的设计与制备
来源期刊：稀有金属材料与工程2005年增刊第2期
论文作者：张立明 许颖 王文静 张厚兴 黄勇 李海峰 万之坚
关键词：陶瓷衬底; 复合陶瓷设计; 薄膜电池;
摘 要：采用复合陶瓷设计的概念,设计多晶硅薄膜太阳能电池用Si,SiC,C的复合陶瓷衬底.在气氛保护烧结炉中烧成,得到的复合陶瓷衬底和Si具有较好的热力学和晶体学匹配性,可以有效的避免在RTCVD工艺下高温沉积和冷却过程中出现的开裂现象,并能得到质量较好的多晶硅薄膜.同时,通过恰当设计Si,SiC和C各组分间的比例,还可以制备具有良好导电性能的陶瓷衬底,这对陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池的制备也有重要的意义.
张立明1，许颖2，王文静2，张厚兴3，黄勇3，李海峰3，万之坚1
(1.清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084;
2.北京市太阳能研究所,北京,100083;
3.清华大学深圳研究生院,深圳,510855)
摘要:采用复合陶瓷设计的概念,设计多晶硅薄膜太阳能电池用Si,SiC,C的复合陶瓷衬底.在气氛保护烧结炉中烧成,得到的复合陶瓷衬底和Si具有较好的热力学和晶体学匹配性,可以有效的避免在RTCVD工艺下高温沉积和冷却过程中出现的开裂现象,并能得到质量较好的多晶硅薄膜.同时,通过恰当设计Si,SiC和C各组分间的比例,还可以制备具有良好导电性能的陶瓷衬底,这对陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池的制备也有重要的意义.
关键词:陶瓷衬底; 复合陶瓷设计; 薄膜电池;
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