等离子体化学气相沉积参量对Ar等离子体电子特性的影响
来源期刊：功能材料2004年第6期
论文作者：魏俊红 林揆训 池凌飞 余楚迎 王照奎 赵韦人 林璇英 黄锐 余云鹏
关键词：调谐单探针; 等离子体化学气相沉积; Ar等离子体;
摘 要：采用加热的调谐单探针技术,研究了射频辉光放电Ar等离子体空间电子能量分布函数,电子平均能量和电子密度,并系统分析了等离子体增强化学气相沉积工艺参量对等离子体空间电子特性的影响.
魏俊红1，林揆训1，池凌飞1，余楚迎1，王照奎1，赵韦人1，林璇英1，黄锐1，余云鹏1
(1.汕头大学,物理系,广东,汕头,515063)
摘要:采用加热的调谐单探针技术,研究了射频辉光放电Ar等离子体空间电子能量分布函数,电子平均能量和电子密度,并系统分析了等离子体增强化学气相沉积工艺参量对等离子体空间电子特性的影响.
关键词:调谐单探针; 等离子体化学气相沉积; Ar等离子体;
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