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磁控溅射氧化钒薄膜的相成分及电阻-温度特性

来源期刊:稀有金属材料与工程2005年第7期

论文作者:李美成 赵连城 王银玲

关键词:氧化钒; 电阻-温度特性; 热稳定性; 相变;

摘    要:采用磁控溅射法在p-Si(100)衬底上制备了VOx薄膜.利用X射线衍射(XRD)分析、原子力显微镜(AFM)及四探针测试方法,研究了制备工艺条件对薄膜的相成分和电阻-温度特性的影响,并测试分析了薄膜的电学热稳定性.结果表明:通过这种方法制备的氧化钒薄膜具有较高的电阻温度系数及良好的电学热稳定性,可作为微测辐射热计的热敏材料.



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磁控溅射氧化钒薄膜的相成分及电阻-温度特性

李美成1,赵连城1,王银玲1

(1.哈尔滨工业大学,黑龙江,哈尔滨,150001)

摘要:采用磁控溅射法在p-Si(100)衬底上制备了VOx薄膜.利用X射线衍射(XRD)分析、原子力显微镜(AFM)及四探针测试方法,研究了制备工艺条件对薄膜的相成分和电阻-温度特性的影响,并测试分析了薄膜的电学热稳定性.结果表明:通过这种方法制备的氧化钒薄膜具有较高的电阻温度系数及良好的电学热稳定性,可作为微测辐射热计的热敏材料.

关键词:氧化钒; 电阻-温度特性; 热稳定性; 相变;

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