TiN/TiCN/Al2O3/TiN CVD多层涂层硬质合金的氧化行为
来源期刊：粉末冶金材料科学与工程2011年第1期
论文作者：谢灿强 陈康华 王社权 祝昌军 徐银超 陈响明
文章页码：26 - 31
关键词：TiN/TiCN/TiN;TiN/TiCN/Al2O3/TiN;CVD多层涂层硬质合金;氧化行为;
摘 要：采用高温化学气相沉积（HT-CVD）和中温化学气相沉积（MT-CVD）相结合的复合化学气相沉积新技术在硬质合金基体WC-（W,Ti）C-（Ta,Nb）C-6%Co上分别沉积TiN/TiCN/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiN涂层,制备TiN/TiCN/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiN CVD多层涂层硬质合金。通过氧化实验,X射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）和显微硬度计等手段研究TiN/TiCN/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiN CVD多层涂层硬质合金的氧化行为。结果表明,涂层后硬质合金的抗氧化性能明显提高,Al2O3的加入能进一步提高CVD多层涂层硬质合金的抗氧化性能,并使涂层硬质合金表现出独特的氧化行为。Al2O3涂层的抗氧化机理为Al2O3具有良好的高温化学稳定性,能起到很好的隔热和阻碍氧扩散的作用。
谢灿强1，陈康华1，王社权1,2，祝昌军1，徐银超1，陈响明2
1. 中南大学粉末冶金国家重点实验室2. 株洲钻石切削刀具股份有限公司
摘 要：采用高温化学气相沉积（HT-CVD）和中温化学气相沉积（MT-CVD）相结合的复合化学气相沉积新技术在硬质合金基体WC-（W,Ti）C-（Ta,Nb）C-6%Co上分别沉积TiN/TiCN/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiN涂层,制备TiN/TiCN/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiN CVD多层涂层硬质合金。通过氧化实验,X射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）和显微硬度计等手段研究TiN/TiCN/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiN CVD多层涂层硬质合金的氧化行为。结果表明,涂层后硬质合金的抗氧化性能明显提高,Al2O3的加入能进一步提高CVD多层涂层硬质合金的抗氧化性能,并使涂层硬质合金表现出独特的氧化行为。Al2O3涂层的抗氧化机理为Al2O3具有良好的高温化学稳定性,能起到很好的隔热和阻碍氧扩散的作用。
关键词：TiN/TiCN/TiN;TiN/TiCN/Al2O3/TiN;CVD多层涂层硬质合金;氧化行为;
