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亚微米铜薄膜界面结合强度的测定

来源期刊：机械工程材料2002年第6期

论文作者：李河清蔡珣马峰

关键词：压痕法; 界面结合强度; 铜薄膜;

摘要：基于薄膜/基体界面结合强度对膜基体系的使用效果有直接影响,采用压痕法测定了1Cr18Ni9Ti钢基材表面物理气相沉积铜薄膜的界面结合强度,并通过分析界面处的受力情况,建立相应的数学模型计算出界面结合力.

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李河清¹，蔡珣¹，马峰¹

(1.上海交通大学教育部高温材料与高温测试重点实验室,上海200030)

摘要:基于薄膜/基体界面结合强度对膜基体系的使用效果有直接影响,采用压痕法测定了1Cr18Ni9Ti钢基材表面物理气相沉积铜薄膜的界面结合强度,并通过分析界面处的受力情况,建立相应的数学模型计算出界面结合力.

关键词:压痕法; 界面结合强度; 铜薄膜;

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