溅射靶材用高纯钌粉制备技术研究及进展
来源期刊：贵金属2017年第S1期
论文作者：赵盘巢 郭磊 陈家林 操齐高 易伟
文章页码：12 - 17
关键词：钌靶;钌粉;氯钌酸铵;
摘 要：电子工业生产钌靶对所用的钌粉纯度(99.999%)、分散性、形貌和尺寸等有严格的要求。国内目前只能在实验室制备出高性能的钌粉,尚未应用于生产,在制备高性能钌粉方面与国外有较大差距,且国内钌靶用钌粉主要依靠进口。通过分析和总结了国内外钌靶用钌粉的生产方法、工艺和测试方法,并对国内钌靶用钌粉的制备提出了建议。
赵盘巢1,2，郭磊1，陈家林1，操齐高2，易伟1
1. 昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室2. 西北有色金属研究院
摘 要：电子工业生产钌靶对所用的钌粉纯度(99.999%)、分散性、形貌和尺寸等有严格的要求。国内目前只能在实验室制备出高性能的钌粉,尚未应用于生产,在制备高性能钌粉方面与国外有较大差距,且国内钌靶用钌粉主要依靠进口。通过分析和总结了国内外钌靶用钌粉的生产方法、工艺和测试方法,并对国内钌靶用钌粉的制备提出了建议。
关键词：钌靶;钌粉;氯钌酸铵;
