用于低功耗微型磁通门的Co₇₇Fe_2.5Mn_1.4Mo_2.1Si₁₃B₄非晶薄膜研究

来源期刊：功能材料2013年第18期

论文作者：郭博 刘诗斌 杨尚林 李菊萍 侯晓伟

文章页码：2719 - 2723

关键词：Co基非晶薄膜;微型磁通门;磁控溅射;退火;

摘    要：采用直流磁控溅射方法制备了一种适用于微型磁通门的Co77Fe2.5Mn1.4Mo2.1Si13B4非晶软磁铁芯薄膜,并对薄膜进行了200℃外加面内横向磁场的真空退火。利用振动样品磁强计(VSM)、X射线扫描仪(XRD)以及扫描电子显微镜(SEM)测试了薄膜的磁滞回线、相组成、表面形貌并进行了成分分析;使用制备得到的薄膜作为双铁芯磁通门的铁芯,测试了磁通门的激励电流、灵敏度和线性范围。结果表明,制备得到的薄膜主要呈非晶态,具有较大的相对磁导率并且磁滞回线在小磁场下出现明显的拐点;用作磁通门铁芯薄膜时,能得到类似使用Co基非晶带材铁芯时的明显的磁通门信号;工作在40kHz时,磁通门传感器能以有效值22mA的激励电流获得2700V/T的输出电压灵敏度。因此,制备得到的薄膜适用于低功耗、高灵敏度微型磁通门传感器。