等离子喷涂碳化硼涂层相组成和电学性能研究

张叶方¹，黄静琪¹，丁传贤¹，曾毅¹

(1.中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050)

摘要:采用大气等离子喷涂,在不同喷涂距离下制备了碳化硼涂层,研究了喷涂崐距离对碳化硼涂层的显微结构、相组成和电导率的影响.用EDS和XPS分析了涂层的相组成;扫描电镜观察涂层的显微结构;标准四探针法测量涂层的电导率. 结果表明,喷涂距离不仅会影响碳化硼涂层的显微结构,而且会改变碳化硼涂层的相组成;等离子喷涂碳化硼涂层的表面电导率随温度的增加而增加,表现出明显的半导体特性;涂层表面电导率同相组成和显微结构密切相关,涂层中B2O3相含量越高,气孔率越大,则涂层的电导率越低.

关键词:碳化硼涂层; 喷涂距离; 电导率; 显微结构;

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