金刚石薄膜与WC-Co硬质合金结合力的改善
来源期刊:金属学报2006年第7期
论文作者:李依依 胡东平 李建国 梅军 刘实
关键词:复合金刚石薄膜; 硬质合金; 结合力; Murakami溶液; H2等离子体;
摘 要:利用SEM,XRD研究了Murakami溶液和H2等离子体处理对硬质合金表面形貌、物相结构的影响,并对硬质合金工具进行了复合金刚石薄膜涂层,采用压痕法和实际钻削实验检测了金刚石薄膜/基体间的结合力.结果表明,微米/纳米复合金刚石薄膜涂层分布均匀,具有低的表面粗糙度.Murakami溶液处理硬质合金可产生均匀的表面沟槽,其金刚石薄膜与基体间的临界载荷约为1.5 kN,而用该方法制备的涂层钻头加工性能很差.H2等离子体处理促进了硬质合金基体表面的WC晶粒更加粗大、致密,其临界载荷超过1.5 kN,用该方法制备的涂层钻头的加工性能优良.
李依依1,胡东平2,李建国2,梅军2,刘实1
(1.中国科学院金属研究所,沈阳,110016;
2.中国工程物理研究院结构力学研究所,绵阳,621900)
摘要:利用SEM,XRD研究了Murakami溶液和H2等离子体处理对硬质合金表面形貌、物相结构的影响,并对硬质合金工具进行了复合金刚石薄膜涂层,采用压痕法和实际钻削实验检测了金刚石薄膜/基体间的结合力.结果表明,微米/纳米复合金刚石薄膜涂层分布均匀,具有低的表面粗糙度.Murakami溶液处理硬质合金可产生均匀的表面沟槽,其金刚石薄膜与基体间的临界载荷约为1.5 kN,而用该方法制备的涂层钻头加工性能很差.H2等离子体处理促进了硬质合金基体表面的WC晶粒更加粗大、致密,其临界载荷超过1.5 kN,用该方法制备的涂层钻头的加工性能优良.
关键词:复合金刚石薄膜; 硬质合金; 结合力; Murakami溶液; H2等离子体;
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