二维二硫化钼材料制备及表征研究

来源期刊：中国钼业2017年第2期

论文作者：崔玉青 席莎 唐军利 何凯 朱琦 周新文

文章页码：31 - 35

关键词：二维;二硫化钼;表征;分析;

摘    要：本文采用硫粉和三氧化钼为原料,通过化学气相沉积法在Si/SiO₂基片表面沉积二硫化钼薄膜,通过大量试验证明:将基片进行硫化预处理后,在一定的温度和Ar气流量下,即可制备出三角形貌的二硫化钼薄膜。最后采用扫描电镜、原子力显微镜、拉曼光谱分析对所制备的二硫化钼产品进行表征研究。结果表明:该方法制备得到的产品为二维二硫化钼,晶体形貌为三角形,其厚度小于5 nm,部分可达到1 nm,拉曼光谱进一步验证产品的层数范围。而XPS检测分析确认CVD沉积所得薄膜为二硫化钼。