PVT同质外延生长AlN单晶初期模拟及其实验研究

来源期刊：稀有金属材料与工程2019年第10期

论文作者：黄嘉丽 王琦琨 贺广东 雷丹 付丹扬 龚建超 任忠鸣 邓康 吴亮

文章页码：3209 - 3214

关键词：AlN单晶;同质外延生长;初始长晶;多相流传质;模拟仿真;

摘    要：使用FEMAG晶体生长模拟仿真软件及自主开发的PVT法有限元多相流传质模块对用自主设计的全自动、双电阻加热气相沉积炉同质外延生长AlN单晶初期温度场及传质过程进行了模拟仿真研究,并基于模拟结果开展了同质外延长晶实验。模拟仿真及实验研究表明:通过生长初期的梯度反转工艺可有效消除氧、碳及氢等杂质表面污染;坩埚的合理位置对同质外延生长AlN单晶时的温度梯度、Al/N蒸气传输及生长速率等至关重要;在距炉体底部420mm处为理想的坩埚埚位。