非平衡磁控溅射制备CrTiAlN/GLC复合涂层的表面性能及摩擦磨损性能研究

来源期刊：上海金属2013年第1期

论文作者：朱志勇 施雯 苑俊峰 李潇 万紫

文章页码：21 - 25

关键词：CrTiAlN/GLC涂层;非平衡磁控溅射;拉曼光谱;性能;磨损;

摘    要：采用非平衡磁控溅射技术在新型冷作模具钢表面制备CrTiAlN/GLC复合涂层,并应用拉曼光谱（Raman）、纳米压痕、磨损试验等测试方法分析与考察该复合涂层的组织结构、纳米硬度、结合强度和摩擦磨损性能。结果表明:CrTiAlN/GLC复合涂层由CrTiAlN和以sp2为主的非晶及微晶结构GLC组成,其纳米硬度（17.38 GPa）介于CrTiAlN与GLC单一涂层之间,但有最高的弹性模量（186.35 GPa）,并与基体结合状况良好（临界载荷Lc≥60 N）。此外,复合涂层还明显地改善了基体表面的摩擦学性能,干摩擦系数为0.1～0.35,油润滑磨损率（<0.7×10-12mm3/N.mm）约为基体（1.36×10-12 mm3/N.mm）的50%。