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CrN系硬质膜的发展与应用

来源期刊:材料保护2019年第12期

论文作者:董文杰 张钧 孙宇菲 彭立静

文章页码:129 - 134

关键词:CrN系硬质薄膜;硬度;耐磨性;抗氧化性;耐腐蚀性;

摘    要:针对现有的各种CrN系硬质膜的制备技术、晶体结构、硬度、耐磨性、耐蚀性等组织性能方面进行了详细的讨论和分析,指出了不同CrN系薄膜的性能及优缺点,并对未来CrN系硬质膜的发展进行了展望。

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CrN系硬质膜的发展与应用

董文杰,张钧,孙宇菲,彭立静

沈阳大学机械工程学院

摘 要:针对现有的各种CrN系硬质膜的制备技术、晶体结构、硬度、耐磨性、耐蚀性等组织性能方面进行了详细的讨论和分析,指出了不同CrN系薄膜的性能及优缺点,并对未来CrN系硬质膜的发展进行了展望。

关键词:CrN系硬质薄膜;硬度;耐磨性;抗氧化性;耐腐蚀性;

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